若干典型应用为例，介绍生物化学微传感器集成芯片系统的检测原理、基本结构、制备方法、测试结果等，分析相关的科学技术难点，展望未来发展。

报告主要有三个方面：（1）iPhone6Plus中MEMS技术以及相关技术进展，包括RFMEMS技术（滤波器、振荡器、开关、天线），惯性MEMS技术（陀螺、加速度传感器），光MEMS技术（扫描镜、光传感器、红外传感器阵列），声MEMS技术（麦克风、扬声器），动力MEMS技术（微型燃料电池、能量收集技术），以及磁场传感器、气压传感器、温湿度传感器。（2）未来智能手机中的MEMS技术。（3）智能手机MEMS技术的发展对医疗与健康监护、汽车、航空航天、工业、物联网、军事等领域可能的冲击。

射频微机电系统器件以其线性高、损耗少、功耗小等特点在诸如射频开关、调谐器、滤波器和移相器等很多应用领域都有非常突出的优势。新一代射频微系统发展的趋势是将射频微机电系统器件及加工技术与微电子、光电子、算法与构架融合集成，实现具有革命性功能的集成射频微系统。集成射频微系统将成为雷达、传感器、信号智能、GPS导航、引导、瞄准系统和宽频高速通讯等系统向高性能、低成本、低功耗方向发展的主要支撑技术之一。本次报告将对射频微系统技术发展进行概述，重点介绍射频微系统三维集成技术难点以及国内外发展现状，并分析未来应用前景。

以报告人近期在传感技术国家重点实验室的科研工作成果介绍为线索，重点阐述三个部分内容：1）发明“MEMS微创手术”单芯片批产工艺，可以在标准半导体foundry厂廉价制造系列具有国际市场竞争力的物理量传感器，为智能手机、汽车电子和工业提供传感器产品化的关键共性技术；2）面对生化传感器没有物理传感器产业化那样成功的局面，聚焦生化敏感材料缺乏定量化的设计模型这个关键问题，提出并实现了一种用谐振传感器快速提取分子特异性作用热力学与动力学整套参数的新方法，用反映生化传感器敏感作用背后实质的物理化学参数来指导传感器性能的全面优化设计；3）发明一种内含自感知功能的微型能量采集器，基于E-to-I概念巧妙实现了具有重要监控应用功能的无源无线自报警传感网节点技术。

本报告重点介绍在国家“863”计划的支持下，我国在微纳设计、加工、测试、封装、器件与系统等方面的研究进展以及产业化、基地建设等方面的情况。结合国家十二五科技发展规划，介绍我国微纳制造技术领域的发展战略。

相比于传统压电振镜，基于MEMS技术的微振镜具有体积小，重量轻，能耗低和批量制造的优势，在激光投影，3D激光扫描和医学成像等领域具有广泛的应用价值。本报告主要基于静电梳齿驱动的MEMS振镜，介绍微振镜的设计技术，制造技术和封装技术。并使用微振镜，研制了三色激光融合光学系统和高速激光调制控制系统，实现了320*240分辨率的三色激光投影显示。

以苏州敏芯创业过程中遇到的产业链问题为线索，重点阐述